トップページ会社案内製品案内お知らせ関連サイト求人情報
ラサ塗布液 低屈折率・低反射膜(各種光学膜)

 

 

1. 特徴

 

ラサの各種塗布液には以下のような優れた特徴があります。
低屈折率膜や高屈折率膜が塗布液で成膜できます。 
超低屈折率膜の場合、ガラス上の反射率をほぼ0%近くにできます。
塗布液ですので、スピンコーター、ディップコーター、スリットコーターなどの
 一般塗布装置で成膜が可能です。
低温側は120℃〜塗布可能です。(型番による)
可視光領域で透明です。
各種光学特性を有した膜を簡単に形成できます。
無機ポリマーを主成分にしておりますので耐熱性も良好です。
 

2. 分類表

   

屈折率

分類

用途

 

 

 

n=2.5

超高屈折率材料

位相差板、ハードマスク

 

 

保護膜、高誘電体

 

 

 

n=2.0

超高屈折率材料

位相差板、ハードマスク

 

 

保護膜、高誘電体

n=1.8

高屈折率材料

光学膜、高誘電体

 

 

保護膜

n=1.7

中屈折率材料

反射防止膜

 

 

 

n=1.6

中屈折率材料

光学膜、光取り出し

 

 

 

n=1.4

低屈折率材料

光学膜

 

 

リーク防止層

 

 

 

n<1.3

超低屈折率材料

低反射膜

 

 

 

3. 物性表

 

 

 

No.

種類

低温成膜

耐熱性

耐薬品性

耐クラック

光学特性
屈折率

電気特性

リーク特性

インプリント性

備考 応用例

1

超高屈折率材料
薄膜タイプ

〜0.3um

〜2(2.5)

高誘電率

ハードマスク
高屈折率膜形成層

2

超高屈折率材料
厚膜タイプ

×

〜0.5um*)

〜2(2.5)

高誘電率

ハードマスク
高屈折率膜形成層

3

中屈折率材料
薄膜タイプ

〜0.3um

〜1.7

高誘電率

反射防止膜

4

中屈折率材料
厚膜タイプ

〜1um

〜1.5

中誘電率

光取り出し層

5

超低屈折率材料

〜1um

超低屈折率
<1.3

低リーク電流


1nA/cm2

反射防止膜
リーク防止層
高温プロセス向け

6

リーク防止材料

〜1um

中屈折率
〜1.5

低リーク電流


1nA/cm2

リーク防止層
低温プロセス向け

 

 *)一部制約あり

 

 

 

低温成膜

:◎120℃可、○200℃以上必要、×350℃以上必要

 

耐熱性

:◎425℃以上可、○425℃まで可、△250℃以下まで

 

耐薬品性

:◎有機溶剤、希硝酸、アルカリ現像液に耐性あり、
 ○耐性あるが相対的にはやや劣る。

 

インプリント性

◎柔らかい、○普通、△硬い(相対値)

 

 

4. 超低屈折率膜の応用例(反射防止膜)

 

 

 

表面及び裏面からの合計反射率
 

 

通常のSiO2系の膜や代表的な低屈折率材料のMgF2よりも、さらに反射率を低減できます。
設計波長においては、ほぼ反射率を0%近くに減らすことができ、低反射を実現できます。
1度塗りで良いので、プロセスも簡単です。
150℃から使えます。
高温側は400℃以上まで変質しません。

 

 

5. 透明性

 

 

 

 

可視光領域において、吸収はなく透明です。

 

 

6. 用途

 

 

 

反射防止膜、位相差板、光取り出し、高誘電体、ハードマスク、リーク防止層、他
各種光学膜、誘電体膜や様々な分野での応用例なども取り揃えておりますので、 
詳細に関しましては、弊社までお問い合わせ下さい。
 

 

 

 

 


 

〔お問い合せ〕

ラサ工業株式会社
〒989-6313 宮城県大崎市三本木音無字山崎26-2
RAMM開発センター
TEL:0229-52-5161  
E-mail:ramm@rasa.co.jp

トップページ製品案内インデックス
会社案内お知らせ関連サイト求人情報


Copyright RASA Industries,LTD

.