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1. 特徴 |
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ラサの各種塗布液には以下のような優れた特徴があります。 ・低屈折率膜や高屈折率膜が塗布液で成膜できます。 ・超低屈折率膜の場合、ガラス上の反射率をほぼ0%近くにできます。 ・塗布液ですので、スピンコーター、ディップコーター、スリットコーターなどの
一般塗布装置で成膜が可能です。 ・低温側は120℃〜塗布可能です。(型番による) ・可視光領域で透明です。 ・各種光学特性を有した膜を簡単に形成できます。 ・無機ポリマーを主成分にしておりますので耐熱性も良好です。
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2. 分類表 |
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3. 物性表 |
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No.
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種類
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低温成膜
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耐熱性
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耐薬品性
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耐クラック
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光学特性 屈折率
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電気特性
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リーク特性
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インプリント性
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備考
応用例
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1
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超高屈折率材料 薄膜タイプ
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◎
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◎
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◎
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〜0.3um
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〜2(2.5)
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高誘電率
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△
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△
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ハードマスク 高屈折率膜形成層
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2
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超高屈折率材料 厚膜タイプ
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×
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◎
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◎
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〜0.5um*)
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〜2(2.5)
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高誘電率
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△
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△
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ハードマスク 高屈折率膜形成層
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3
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中屈折率材料 薄膜タイプ
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◎
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○
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◎
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〜0.3um
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〜1.7
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高誘電率
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△
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△
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反射防止膜
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4
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中屈折率材料 厚膜タイプ
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○
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○
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○
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〜1um
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〜1.5
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中誘電率
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○
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◎
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光取り出し層
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5
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超低屈折率材料
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○
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○
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○
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〜1um
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超低屈折率 <1.3
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低リーク電流
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◎ 1nA/cm2
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◎
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反射防止膜 リーク防止層 高温プロセス向け
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6
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リーク防止材料
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◎
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△
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◎
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〜1um
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中屈折率 〜1.5
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低リーク電流
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◎ 1nA/cm2
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◎
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リーク防止層 低温プロセス向け
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*)一部制約あり
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低温成膜
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:◎120℃可、○200℃以上必要、×350℃以上必要
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耐熱性
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:◎425℃以上可、○425℃まで可、△250℃以下まで
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耐薬品性
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:◎有機溶剤、希硝酸、アルカリ現像液に耐性あり、 ○耐性あるが相対的にはやや劣る。
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インプリント性
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:◎柔らかい、○普通、△硬い(相対値)
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4. 超低屈折率膜の応用例(反射防止膜) |
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表面及び裏面からの合計反射率
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通常のSiO2系の膜や代表的な低屈折率材料のMgF2よりも、さらに反射率を低減できます。 設計波長においては、ほぼ反射率を0%近くに減らすことができ、低反射を実現できます。 1度塗りで良いので、プロセスも簡単です。 150℃から使えます。 高温側は400℃以上まで変質しません。
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5. 透明性
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可視光領域において、吸収はなく透明です。
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6. 用途
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反射防止膜、位相差板、光取り出し、高誘電体、ハードマスク、リーク防止層、他 各種光学膜、誘電体膜や様々な分野での応用例なども取り揃えておりますので、 詳細に関しましては、弊社までお問い合わせ下さい。
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