分類

項目

特徴

光学

高屈折率

R.I=約2
高温処理（＞425℃）では屈折率2以上が得られます。 

可視光透明

λ＝350nm 以上で透明

紫外線吸収

λ＝350nm 以下吸収

赤外線吸収

λ＝8um 以上吸収

化学

プラズマ耐性

非常に優れたドライエッチング耐性があり、CF₄では
ほとんどエッチングされません。

耐溶剤性

NMP、ELなどに溶けません。

耐酸・アルカリ性

酸・アルカリにも侵されません。
 （一部熱処理条件による）

電気

誘電率

高誘電率です。
ε＝30-50

その他

埋め込み性

塗布液ですので、平坦化効果もあります。